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真空腔體的概述

2019/06/17

這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個(gè)數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動(dòng)真空。產(chǎn)品的特點(diǎn)是機(jī)臺(tái)定位的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)響應(yīng)，抽氣時(shí)間、穩(wěn)...+ More

真空腔體烘烤

2019/06/04

觀察真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3Pa時(shí)，開(kāi)始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間烘烤。烘烤過(guò)程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)...+ More

真空腔體的制作

2019/06/04

焊接是真空腔體制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，通常采用氬弧焊來(lái)完成焊接。氬弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電極周?chē)鷩娚浔Ｗo(hù)氣體氬氣，以防止熔...+ More

真空腔體的制作材料

2019/06/04

真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐...+ More

真空閥門(mén)注脂時(shí)的注意事項(xiàng)

2019/05/11

真空閥門(mén)注脂時(shí)常常忽視注脂量多少的問(wèn)題，注脂槍加油后，操作人員選擇閥門(mén)的和注脂聯(lián)接方式后，進(jìn)行注脂作業(yè)。存在著兩種情況：一方面注脂量少導(dǎo)致注脂不足，密封面因缺少潤(rùn)滑劑而加快磨損。另...+ More